Директор группы технологий и производства (Technology and Manufacturing Group) корпорации Intel Валлури Рао (Valluri R. Rao) в докладе “Новые парадигмы масштабирования для MEMS-приложений” (“New Paradigms of Scaling For MEMS Application”), представленном на прошедшей в Токио 4-й международной конференции по нанотехнологиям INC4, ознакомил слушателей с концепцией миниатюризации MEMS-устройств. Эта концепция основана на исследованиях в области MEMS, проводимых электронным гигантом. Хотя в выступлении не были затронуты детали политики корпорации в этой области и планы работ по развитию MEMS-направления, все же содержание доклада явно свидетельствует о том, что Intel проводит серьезные исследования в сфере миниатюаризации MEMS-устройств.
С подобной задачей неизбежно сталкивается не только Intel, но и все производители больших интегральных схем (БИС), стремящиеся включить MEMS-технологии в бизнес-стратегию своего развития. Решение проблемы миниатюаризации MEMS-устройств как с экономической, так и с технологической точки зрения совпадает с аналогичными процессами в электронике, которые привели к созданию БИС. Отмечается, что при изготовлении MEMS-устройств можно использовать те же технологические процессы, что и при выпуске БИС, и таким образом снизить издержки при их серийном выпуске.
Однако лишь немногие производители БИС предпринимают шаги в направлении подобной миниатюаризации, поскольку этот процесс, по их мнению, может оказаться неэффективным, а для некоторых приложений вообще ненужным с точки зрения энергетических затрат.
На основе проведенных исследований Intel назвала некоторые факторы, обуславливающие ограничение такой миниатюаризации, приведя в качестве примеров механические переключатели с использованием MEMS-технологии (радиочастотные RF MEMS-решения), а также оптические переключатели (маршрутизаторы для волоконно-оптических сетей).
По данным исследователей, в обоих случаях необходимо принимать во внимание механическую структуру таких устройств, поскольку на микроуровне, соответствующем определенному физическому расстоянию, надо учитывать действие межмолекулярных сил, а также влияние электромагнитных помех на работу MEMS-устройства. Эти факторы ограничивают возможности по дальнейшему уменьшению размеров MEMS-приборов. Что касается оптических переключателей, то на уменьшение их размеров оказывает влияние и длина волны. Величины параметров таких факторов, влияющих на габаритные размеры MEMS-устройств, варьируются в зависимости от области их применения (например, в электронных или оптических приборах и т. п.).
